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最洁净厂房南京建成 南京企业“近水楼台先得月”

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近日,我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的超净环境集成系统,在南京开发区内的天加空调设备有限公司落成,这个干净的近乎一粒灰尘也没有的厂房,将用于超大规模集成电路制造、高世代平板显示。

南报网讯 (记者 刘蒙丹 通讯员 何晓进 王定)近日,我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的超净环境集成系统,在南京开发区内的天加空调设备有限公司落成,这个干净的近乎一粒灰尘也没有的厂房,将用于超大规模集成电路制造、高世代平板显示。

超净环境又称洁净室、无尘室,是指无论室外空气条件如何变化,仍能使室内空气中微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并且室内温度、湿度、洁净度等特性控制在特定范围内。ISO1级是该标准的国际最高要求,简单来说,就是每立方米内的微尘颗粒小于10颗,洁净室技术总监吴小泉打了一个比方,浮游在空气中的微尘颗粒就像在太平洋中的鱼,ISO 1级的洁净度,就如同在太平洋那么大的空间里,所有体积在3.7升以上的鱼全都被过滤掉了。实现难度非常大,因此截至目前国内除了天加,还没有一家企业做到。

去年年底,超净环境集成系统通过了专家组的评定,来自中国科学院、中国工程院等近30名专家一致评定该系统为国内首创,达到“国际先进”水平,专家组主任委员王尧表示,超净环境核心区洁净度达到国际标准最高级别,填补国家相关领域技术空白,对推动中国洁净室技术的科技进步具有重要意义和广泛的应用前景。

记者看到,洁净厂房并不大,外观和一般的实验室也差不多,但是走进控制室可以发现,厂房的地面上到处布满了细小的“洞洞”。吴小泉说,别小看这些洞洞,空气通过这里进行循环过滤,才能保证洁净。同时,厂房还采用了天加的发明专利——内外框架迷宫式密封结构,利用空调箱的框架和保温面板融为一体。“这种特殊的结构让灰尘更难进入。”据介绍,这个小小的厂房,共运用了多项国际先进技术。

天加空调花了1000多万打造了这一洁净厂房“样板间”,究竟有什么用?企业品牌负责人刘东明笑着说,该超净环境集成系统刚落成没多久,来联系建设的企业一拨接着一拨,其中做电子芯片和液晶面板的占了大多数。“这是在我们意料之中的。”他告诉记者,根据半导体产业的“摩尔定律”,硅晶圆片尺寸、平板显示器的尺寸都在不断扩大,生产核心器件的环境必须达到ISO 3级才能满足,一般来说,厂房越洁净,电子产品能达到的精密度越高。以前,我国超净环境的核心部分均由国外设计和建造,也没有ISO 1级的洁净厂房,制约了超大规模集成电路、高世代平板显示等产业的发展。“有了这个厂房以后,生产电子核心部件的这项瓶颈被打破了。”刘东明说,集成电路、液晶面板产业正好是南京重点发展的新兴产业,相关企业可以“近水楼台先得月”,试一试他们的洁净厂房。

天加空调是我国排名前十的中央空调生产企业,近年来在南京总部投资4.5亿,建成国内等级最高的中央空调制造研发基地。测试验证中心拥有近20座国家级实验室,先后开展了6项重大科技研发活动,累计获得了55项专利。